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  • 產品詳情
    • 產品名稱:桌面型二合一鍍膜儀

    • 產品型號:CY-EVS180G-A
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    本產品為二合一鍍膜儀,可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備
    詳情介紹:

    本產品為二合一鍍膜儀,可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。設備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。

    設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。真空室采用上中下結構,樣品臺與靶的距離靈活可調。

    設備真空獲得系統采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優點。

    真空腔體采用石英加工而成,呈現圓柱結構,外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效鍍膜質量。

    二合一鍍膜儀技術參數:

    產品型號

    CY-EVS180G-A

    安裝條件

    1、使用環境溫度 25℃±15℃,濕度 55%Rh±10%Rh;

    2、設備供電:AC220V,50Hz,必須有良好接地;

    3、額定功率:1500w;

    4、設備用氣:設備腔室內需充注氬氣清洗,需客戶自備氬氣,純度 ≥99.99%;

    5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 50kg 以上;

    6、擺放位置要求通風。

    技術參數

    1、 蒸發源數量:1鎢絲籃/鎢舟

    2、 適用蒸發膜料:金銀銅等不易被氧化的金屬,碳繩;

    3、 等離子濺射靶數量:1x2”

    4、 適用靶材:金銀銅等比重大,化學性質穩定的金屬;適用尺寸φ50mm x3mm

    5、 蒸發源電壓:10V

    6、 蒸發電流 0~100A 連續可調

    7、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃;

    8、 不銹鋼樣品臺,直徑為60mm;蒸發時使用樣品臺下表面及配套夾具,濺射時使用樣品臺上表面,直接將樣品放置在平面上。

    9、 樣品臺距離蒸發源距離20~50mm可調。當使用濺射功能時樣品臺應和靶面距離30mm~50mm。

    10、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm,高度為150mm;

    11、 真空腔體抽氣接口為 KF25;

    12、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭,默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量;

    13、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏;

    14、 可調節蒸發電流、濺射電流,可設置蒸發安全電流值、安全真空值;

    15、 安全保護:過流、真空過低自動切斷電流;

    16、 極限真空:1Pa(搭配雙級旋片泵);

    17、 真空測量為電阻規真空計,其量程為:1~105Pa

    注意事項

    1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料,建議增配分子泵組。

    2、為了達到較高的無氧環境,至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。

    可選配件

    膜厚監測儀

    1、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

    2、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置, 材料應力,溫度和密度

    3、測量速度:100ms-1s/次,可設置測量范圍:500000?(鋁)

    4、標準傳感器晶體:6MHz

    5、適用晶片頻率:6MHz 適用晶片尺寸:Φ14mm 安裝法蘭:CF35

    其他配件

    1、鎢舟、鎢絲籃;

    2、CY-CZK103系列高性能分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~105Pa);

    CY-GZK60系列小型分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~102Pa

    VRD-4雙極旋片真空泵;

    3、KF25真空波紋管;長度可選0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

    4、膜厚儀晶振片;

    豫公網安備 41019702002438號

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