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  • 產品詳情
    • 產品名稱:?雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(往復樣品臺)

    • 產品型號:CY-MSP500S-DCRF-RE
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    ?雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(往復樣品臺)配有一臺直流電源,一臺射頻電源,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等往復式設計,?雙靶DCRF磁控濺射鍍膜儀(往復樣品臺)的樣品臺采用往復式設計,左側配有磁力耦合推桿,可將樣品臺左右推動。
    詳情介紹:
    CY-MSP500S-DCRF-RE往復樣品臺型雙磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)雙靶磁控濺射鍍膜儀為我公司研發的配有兩個靶位的實驗室專用鍍膜儀,設備配有一臺直流電源,一臺射頻電源,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜等。
    磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優點,鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時間穩定工作。本型號樣品臺采用往復式設計,左側配有磁力耦合推桿,可將樣品臺左右推動。整機均采用觸控屏控制,內置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是實驗室制備薄膜的理想設備


    名稱

    往復樣品臺型雙靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)
    型號
    CY-MSP500S-DCRF-RE
    特點
    1.能量高速度快
    2.磁控靶配有水冷夾層避免熱量在靶面聚集
    3.樣品臺采用往復式設計,左側配有磁力耦合推桿,可將樣品臺左右推動
    4.采用單靶獨立、多靶輪流或組合共濺,向心濺射
    5.PC+PLC全自動控制
    技術參
    1.  供電電壓 AC220V,50Hz
    2.  整機功率 6KW
    3.  極限真空度 5x10-4Pa
    4.  載樣臺參數 
         尺寸 100*100mm;往復行程200mm
    5.  磁控濺射頭參數 
         數量 2個2”磁控濺射頭;冷卻方式  10L/min流速的循環水冷機
    6.  真空腔體 
         尺寸 φ500mm X 490mm H; 材料 不銹鋼; 觀察窗口 φ100mm;上頂開式,便于更換靶材
    7.  氣體流量控制器 1路200sccm Ar; 
    8.  真空泵 配有一套分子泵系統,抽速600L/S
    9.  膜厚儀 石英振動薄膜測厚儀一臺,分辨率0.10 ?
    10. 濺射電源(1DC 1RF)
         直流電源,500W,適用于制備金屬膜
         射頻電源,500W,適用于非金屬鍍膜
    11. 操作方式 一體機電腦操作
    規格
    整機尺寸 1090mm X 900mm X 1250mm
    整機重量 350kg



    豫公網安備 41019702002438號

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