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  • 產品詳情
    • 產品名稱:R-PECVD?真空旋轉等離子增強CVD設備

    • 產品型號:TN-R-PECVD
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    R-PECVD真空旋轉等離子增強CVD設備由旋轉及傾斜機構、單溫區管式爐、等離子發生機構、質量流量計供氣系統、高真空分子泵組部分構成。R-PECVD真空旋轉等離子增強CVD設備利用旋轉和傾斜機構實現連續生產,并且可以使顆粒型樣品表面均勻生長產物。
    詳情介紹:

    R-PECVD真空旋轉等離子增強CVD設備(1200℃單溫區 4路MFC)設備由旋轉及傾斜機構、單溫區管式爐、等離子發生機構、質量流量計供氣系統、高真空分子泵組等部分構成。

    特點

    1.  相比于其他的石墨烯制備設備,能提供更高的基底真空,提高產物質量;
    2. 能夠利用旋轉和傾斜機構實現連續生產,使顆粒型樣品表面均勻生長產物;
    3. 等離子發生裝置能夠顯著降低反應溫度,提高反應效率。 

    技術參數

    單溫區管式爐

    產品型號

    CY-O1200-100IT

    爐管材質

    高純石英

    爐管直徑

    100mm

    爐管長度

    1500mm

    爐膛長度

    440mm

    加熱區長

    400mm

    恒溫區長

    200mm

    工作溫度

    0~1100℃

    控溫精度

    ±1℃

    控溫模式

    30段或50段程序控溫

    顯示模式

    高清全彩LCD觸控屏

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz

    RF輸出系統

    功率范圍

    0~500W可調

    工作頻率

    13.56MHz+0.005%

    工作模式

    連續輸出

    匹配阻抗模式

    能夠匹配,起輝均勻布滿爐管

    功率穩定度

    ≤2W

    正常工作反射功率

    ≤3W

    放大反射功率

    ≤70W

    諧波分量

    ≤-50dBc

    整機效率

    ≥70%

    功率因素

    ≥90%

    供電電壓/頻率

    單相交流(187V~153V) 頻率50/60Hz

    控制模式

    內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

    電源保護設置

    DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

    冷卻方式

    強制風冷

    起輝長度

    在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管

    供氣系統

    流量計

    四路質子流量計

    流量范圍

    MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

    MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

    分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar.

    測量精度

    ±1.5%F.S

    重復精度

    ±0.2%FS

    線性精度

    ±1%F.S.

    響應時間

    ≤4s

    工作壓力

    -0.15Mpa~0.15Mpa

    流量控制

    液晶觸摸屏控制,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制

    進氣接口

    可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

    出氣接口

    可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

    連接方式

    雙卡套接頭

    工作溫度

    5~45℃

    氣體預混

    配氣體預混裝置

    排氣系統

     

    產品型號

    CY-GZK103-A

    分子泵

    渦輪分子泵

    前級泵

    雙級旋片泵

    抽氣速率

    分子泵:600L/S

    綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

    旋片泵:1.1L/S

    極限真空

    5×10E-4Pa

    抽氣接口

    KF40

    排氣接口

    KF16

    真空測量

    復合真空計

    旋轉及傾斜裝置

    轉速范圍

    0-20rpm

    傾斜角度

    0-15°

    進出料

    自動進料,傾斜后可自動集料

     

    豫公網安備 41019702002438號

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