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  • 產品詳情
    • 產品名稱:全自動超聲波氣氛加熱勻膠機

    • 產品型號:CY-SPC-HUA6
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    CY-SPC-HUA6勻膠機是一種小型、靈活的旋轉勻膠設備,可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上,進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件,可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路,可將惰性氣體通入腔體內,在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆??蓜蚰z*大圓晶尺寸為6英寸,轉速可達10000rpm,加速度可達5000rpm;具有轉速穩定,啟動迅速,操作方便等優點,并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性,是一款性能優良的產品。
    詳情介紹:

    產品特征

    1. 采用直流無刷電機,單片機控制

    2. 高清晰觸摸屏控制

    3. 可進行單步多步勻膠操作,可存儲五種程序,每種程序可設置五步操作

    4. 防堵膠設計

    5. 鋁合金腔體,堅固耐用

    6. 帶有超聲波,氣氛,加熱等多種輔助功能,為勻膠研究進行多種輔助

     

    產品參數

    產品名稱

    超聲波輔助氣氛勻膠機

    圓晶尺寸

    6英寸

    旋轉速度

    100~10000rpm可調

    旋轉加速度

    100~5000rpm/s可調

    單次*長勻膠時間

    3000s

    勻膠腔體尺寸

    Φ200mm* 90mm

    電壓

    220V 50Hz

    功率

    400W

    加熱溫度

    0-100℃

    質保時間

    易損件除外,1年,終身技術支持

     

    超聲波系統

    霧化頭材質

    鈦合金

    頻率

    40kHz

    功率

    130W

    流量

    0.55mL/s

    微粒直徑

    25um

    霧化頭類型

    錐型

    霧化頭重量

    0.3kg

    超聲波電源尺寸

    315*312*135mm

    超聲波電源重量

    5kg

     

    注射泵

    流量范圍

    0.001uL/min-43.349mL/min

    掉電記憶工能

    保存設置參數,重新上電后,無需設置

    適用進樣器規格

    10uL-1000uL

    適用注射器規格

    1mL-60mL

    線速度范圍

    5um/min-65um/min

    線速度調節分辨率

    5um/min

    *大行程

    140mm

    行程分辨率

    0.156um

    額定線性推力

    >90N

     

    流量計

    控制氣體種類

    2種

    氣體流速

    16-160mL/min

    豫公網安備 41019702002438號

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