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  • 產品詳情
    • 產品名稱:加熱型旋轉涂覆儀

    • 產品型號:CY-SPC8-H
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    加熱型旋轉涂覆儀采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用先進的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。
    詳情介紹:

    加熱型旋轉涂覆儀采用全鋁合金腔體,美觀堅固。儀器采用先進的精密電機,轉速能達到10000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。

    加熱型旋轉涂覆儀適用范圍:

    加熱型旋轉涂覆儀可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。

    加熱型旋轉涂覆儀技術參數:

    項目

    明細

    旋涂儀

    供電電壓

    AC220V,50Hz

    轉速

    0~10000rpm

    加速度

    100~5000rpm/s

    轉速分辨率

    1rpm

    單步時間

    3000s

    基片尺寸

    直徑≤8英寸(200mm

    腔體材質

    鋁合金

    加熱溫度

    200

    控溫方式

    AIP智能控溫

    操作方式

    7寸高清LCD觸控屏

    滴膠方式

    手動滴膠,可選購精密注射泵

    勻膠曲線

    每條曲線5段,共可儲存5條曲線

    抽氣接口

    φ6mm 快擰接口

     整機尺寸

    290mm×365mm×300mm

     整機重量

    12kg

    排氣系統

    真空泵

    干式機械泵

    抽氣速率

    50L/min

    供電電源

    AC220V  50/60Hz

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