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  • 產品詳情
    • 產品名稱:雙靶等離子濺射鍍膜儀(基礎型)

    • 產品型號:CY-PSP180G-2TA
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺,能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。設備體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
    詳情介紹:

    技術參數

    樣品臺

    尺寸

    100mm

    到靶面距離

    20~35mm高度可調

    等離子濺射靶

    數量

    2英寸2      

    冷卻方式

    自然冷卻   

    真空腔體

    腔體尺寸

    φ180mm X 210mm    

    觀察窗口

    全向可視

    腔體材料

    高純石英

    開啟方式

    頂蓋拆卸式

    上下蓋材質

    304不銹鋼

    抽氣接口

    KF16

    進氣接口

    1/4英寸卡套接頭

    電源配置

    數量

    直流電源x1

    輸出功率

    *大150W

    濺射電源

    1200V

    *大濺射電流

    50mA

    真空系統

    真空泵類型

    雙極旋片真空泵

    抽氣接口

    KF16

    排氣接口

    KF16

    抽氣速率

    1.1L/s(4m3/h)

    極限真空度

    ≥0.1Pa

    真空測量

    電阻真空規

    其他

    供電電源

    AC 220V  50Hz

    整機功率

    1.5kW

    整機尺寸

    500mm X 320mm X470mm

    整機重量

    30kg


    豫公網安備 41019702002438號

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