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  • 產品詳情
    • 產品名稱:雙溫區CVD系統

    • 產品型號:CY-O1200-2ZV10
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    雙溫區CVD系統由1200℃雙溫區管式爐、雙通道質量流量計和低噪音雙極旋片真空泵組成。雙溫區CVD系統管式爐的兩個溫區分別由精密控溫儀表獨立控溫,通過調節各個溫區的溫度,該管式爐可以在加熱區內形成兩段溫度梯度或是形成較長的恒溫區域。
    詳情介紹:

    雙溫區CVD系統適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

    雙溫區CVD系統產品規格:

    主要技術參數

    顯示模式

    7英寸觸摸屏

    真空控制

    可通過參數設置,自動完成抽真空,恒壓工作

    爐管材料

    高純石英

    爐管尺寸

    直徑:50mm,長度1000mm

    加熱溫區

    兩溫區

    溫區長度

    200mm+200mm

    工作溫度

    室溫~1100

    控溫精度

    ±1

    升溫速率

    建議10/min

    控溫模式

    可編程程序控溫

    密封方式

    真空法蘭密封

    雙通道質量流量計

    氣體通道

    兩通道

    測量儀器

    質量流量計

    A路量程

    氫氣:0500SCCM

    B路量程

    氬氣:01000SCCM

    連接管道

    拋光不銹鋼管

    氣體緩沖器

    1000ml

    工作壓力

    3Mpa

    工作壓差

    0.3MPa

    管道接口

    6.35mm卡套接頭

    真空泵

    抽氣接口

    KF25

    排氣接口

    KF25

    抽氣速率

    24立方米/小時

    極限真空

    5.0E-2Pa

    電機功率

    1100W

    電機轉速

    1440/分鐘

    真空計

    傳感器類型

    皮拉力

    真空量程

    1.0E-1Pa1.0E5Pa

    安裝方式

    豎直放置

    工作電壓

    DC24V

    相關配件

    連接管道

    KF25波紋管1米長

    聚四氟管5

    石英爐管1

    爐管塞子4

    爐鉤1

    防護手套1

    真空法蘭1套(帶密封圈、針閥、氣路接頭)

    豫公網安備 41019702002438號

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