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  • 產品詳情
    • 產品名稱:1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統

    • 產品型號:CY-T1500-60IT-3F-HV
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統由1500℃單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內的氣氛環境。
    詳情介紹:

    1500℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設計,獨特的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定安全,加熱元件采用高品質硅碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。

    系統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。本系統還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。

    適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

    技術參數:

    產品型號

    CY-T1500-60IT

    爐管材質

    高純氧化鋁

    爐管直徑

    60mm(可選配50mm、80mm、100mm

    爐管長度

    1000mm

    爐膛長度

    400mm

    加熱區長

    300mm

    恒溫區長

    150mm

    工作溫度

    1450

    控溫精度

    ±1

    控溫模式

    30段或50段程序控溫

    顯示模式

    LCD

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭

    法蘭接口

    1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

    可抽真空

    4.4E-3Pa

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz

    產品型號

    CY-3F

    氣體通道

    3通道

    測量部件

    氣體浮子流量計

    測量量程

    A通道:0100ml/min    H2

    備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

    B通道:16160ml/min    N2

    C通道:25250ml/min    Ar

    測量精度

    ±2.0%

    管道耐壓

    3MPa

    工作壓差

    50300KPa

    連接管道

    304不銹鋼

    控制閥門

    304不銹鋼針閥

    接口規格

    進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

    產品型號

    CY-GZK103-A

    分子泵

    CY-600

    前極泵

    旋片泵

    抽氣速率

    分子泵:600L/S

    綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa

    旋片泵:1.1L/S

    抽氣接口

    KF40

    排氣接口

    KF16

    真空測量

    復合真空計:電阻規+電離規

    極限真空

    1.0E-5Pa

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz


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    (包括產品圖片、產品描述、技術參數等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r,會造成所述內容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾,本公司會不定期完善和修改網站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。

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