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  • 產品詳情
    • 產品名稱:1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統

    • 產品型號:CY-O1200-50IT-3Z-LV
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和雙極旋片真空泵組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣低真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
    詳情介紹:

    1200單溫區3路供氣低真空CVD系統所配有的三路質量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。

    適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

    技術參數:

    產品型號

    CY-O1200-50IT

    爐管材質

    高純石英

    爐管直徑

    50mm(可選配60mm、80mm、100mm

    爐管長度

    800mm

    爐膛長度

    440mm

    加熱區長

    400mm

    恒溫區長

    200mm

    工作溫度

    01100

    控溫精度

    ±1

    控溫模式

    30段或50段程序控溫

    顯示模式

    LCD

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭

    法蘭接口

    1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭

    可抽真空

    4.4E-3Pa

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz

    產品型號

    CY-3Z

    氣體通道

    3通道

    測量部件

    氣體質量流量計

    測量量程

    A通道:0100SCCM    H2

    備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

    B通道:0300SCCM    N2

    C通道:0500SCCM    Ar

    測量精度

    ±1.0%F.S

    管道耐壓

    3MPa

    工作壓差

    50300KPa

    連接管道

    304不銹鋼

    控制閥門

    304不銹鋼針閥

    接口規格

    進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz

    機械泵

    旋片泵

    抽氣速率

    1.1L/S

    排氣接口

    KF16

    真空測量

    電阻規

    極限真空

    1.0E-1Pa

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz

    抽氣接口

    KF16


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    豫公網安備 41019702002438號

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