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  • 產品詳情
    • 產品名稱:1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統

    • 產品型號:CY-O1200-50IT-3F-HV
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統由單溫區管式爐、三路浮子流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制路爐管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
    詳情介紹:

    1200℃單溫區3路浮子供氣高真空CVD系統系統所配有的三路浮子流量計,可以混合1~3路氣體,較為準確的配制出實驗所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計正面,可以監測氣體壓力及混合槽壓力。

    本系統還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。

    適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

    技術參數:

    1200單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統

    產品型號

    CY-O1200-50IT 

    爐管材質

    高純石英 

    爐管直徑

    50mm(可選配60mm、80mm、100mm 

    爐管長度

    800mm 

    爐膛長度

    440mm 

    加熱區長

    400mm 

    恒溫區長

    200mm 

    工作溫度

    01100 

    控溫精度

    ±1 

    控溫模式

    30段或50段程序控溫 

    顯示模式

    LCD 

    密封方式

    304不銹鋼真空法蘭 

    法蘭接口

    1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 

    可抽真空

    4.4E-3Pa 

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz 

    產品型號

    CY-3F 

    氣體通道

    3通道 

    測量部件

    氣體浮子流量計 

    測量量程

    A通道:0100ml/min     H2 

    備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕蛻舻木唧w要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 

    B通道:16160ml/min    N2 

    C通道:25250ml/min    Ar 

    測量精度

    ±2.0% 

    管道耐壓

    3MPa 

    工作壓差

    50300KPa 

    連接管道

    304不銹鋼 

    控制閥門

    304不銹鋼針閥 

    接口規格

    進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 

    產品型號

    CY-GZK103-A 

    分子泵

    CY-600 

    前極泵

    旋片泵 

    抽氣速率

    分子泵:600L/S 

    綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa 

    旋片泵:1.1L/S 

    抽氣接口

    KF40 

    排氣接口

    KF16 

    真空測量

    復合真空計:電阻規+電離規 

    極限真空

    1.0E-5Pa 

    供電電源

    AC:220V 50/60Hz


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