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  • 產品詳情
    • 產品名稱:雙溫區管式爐

    • 產品型號:
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    雙溫區管式爐設備由雙溫區管式爐、溫控蒸發器、濕度監測器三部分組成。溫控蒸發器和濕度監測器的組合可以持續產生符合試驗配比要求的水蒸氣,即通過觀察濕度監測器的示數,相應的調節溫控蒸發器的加熱速率即可調節水蒸氣產生速率。雙溫區管式爐若再配合三路浮子流量計即可實現對通入氣體成份和濕度的準確控制,適用于CVD工藝中的液體源和化學前體輸送。
    詳情介紹:

    該雙溫區真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通保護性氣氛。開啟式爐膛結構有利于爐管拆卸和觀察物料裝載,操作簡單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結狀態。本管式爐爐管水平穿過爐膛,加熱元件呈四周均勻分布,溫場均勻,爐管內部和爐膛之間的內外溫差可控制在3度左右。爐體設計有緩沖上蓋支撐結構讓操作時可安全開啟。

    該款雙溫區真空管式爐的組合主要適用于需要控制反應濕度的CVD試驗和反應。

    雙溫區管式爐技術參數:

    項目

    明細

    雙溫區管式爐

    供電電壓

    AC110V;60Hz

    工作溫度

    1100℃

    加熱速率

    建議10/min

    熱電偶類型

    B型熱電偶

    爐管尺寸

     φ80OD)×φ74ID)×1000Lmm

    爐管材料

    高純石英

    密封法蘭

    帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口

    加熱溫區

    200mm+200mm

    溫度控制

    1) PID全自動控制加熱速率,冷卻速率以及保溫時間

    2) PID控制超溫保護和短偶保護

    3) 超溫保護在報警功能使該設備可在無人看管的情況下運行

    4) 溫度精度在±1(即顯示的溫度和實際溫度差)

    加熱元件

    電爐絲

    蒸發器

    容量

    300mL

    加熱套工作溫度

    250℃

    功能

    有精密可編程溫度控制器控制;

    容器上有兩個SS針閥和一個壓力表

    濕度監測器

    安裝方式

    KF25適配器連接至加工管法蘭

    測量范圍

    0-100%RH,1.5%FS精度,或-60°~+60°DP

    測量精度

    ±0.3°

    使用方法

    調節蒸發器水內溫度和H2氣體流量以達到所需濕度水平

    三路防腐浮子流量計

    閥門類型

    不銹鋼針閥

    管道正常情況

    關閉

    氣體方式

    3通道

    連接尺寸

    1/4”

    壓力范圍

    -0.1~0.15Mpa

    管芯材質

    304不銹鋼

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    豫公網安備 41019702002438號

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