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  • 產品詳情
    • 產品名稱:有機無機蒸發鍍膜儀

    • 產品型號:CY-OE
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    有機無機蒸發鍍膜儀采用直線式結構,主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接,其中一個生長室系統預留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的制備薄膜系統之間互相傳送基片。有機無機蒸發鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發源、熱阻蒸發舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
    詳情介紹:

    有機無機蒸發鍍膜儀設備用途:

    有機無機蒸發鍍膜儀用于生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

    有機無機蒸發鍍膜儀技術參數:

    真空室

    二個D型真空室,尺寸均約為?450×H750mm;

    兩個真空室的真空系統配置、極限壓力、恢復真空時間、熱阻蒸發舟及電源、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術參數指標相同;

    真空系統配置

    日本進口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復合數顯真空測量規與計、閥門等。

    極限壓力

    ≤2.0×10-5Pa

    恢復真空時間

    40分鐘可達到1×10-4Pa

    電動磁力耦合樣品傳遞裝置

    真空室1

    采用磁力耦合line motion傳遞裝置,采用步進電機驅動,設有遠程手控控制盒,可控制直線前進后退。

    有機蒸發源及電源

    真空室1

    新型0EL升華型蒸發源9支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃7支,室溫-1000℃2支;蒸發源電源4臺。

    真空室2

    新型0EL升華型蒸發源6支,每支蒸料可裝10CC,室溫-800℃6支;蒸發源電源3臺。

    熱阻蒸發舟及電源

    新型蒸發舟2組(熱阻蒸發舟);

    數字式熱阻蒸發電源1臺,帶有細調功能(0.1安培);鍍鋁專用盒式蒸發舟:2個;

    普通金屬蒸發舟10個;蒸發源擋板2套;

    膜厚監測儀

    厚度分辨率

    不平均:0.0133埃/測量;50個樣品平均:0.002埃/測量

    速率分辨率

    不平均:0.0133埃/秒;50個樣品平均:0.02埃/秒

    精度

    0.03HZ/測量,2ppm

    速度

    每秒測量十次

    真空室照明裝置

    采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈

    烘烤裝置

    在真空室外烘烤帶的烘烤方式

    樣品臺

    樣品尺寸

    可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片

    運動方式

    可電動上下升降,可旋轉,轉速為0-30轉/分,轉速可調

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