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  • 產品詳情
    • 產品名稱:非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

    • 產品型號:CY-NC
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射系統,涂有非金屬,主要是氧化物薄膜。非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機柜中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環冷水機組和薄膜厚度監控器等。
    詳情介紹:

    非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途

    非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機,用于研發非導電材料薄膜。

    非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格:

    輸入功率

    • 220 VAC, 50/60Hz, 單相
    • 800 W  (包括泵)
    • 如果電壓為110 VAC, 則需要1000 W 變壓器

    電源

    一個13.5 MHz, 300 W 具有自動匹配功能的射頻發生器內置于機柜中并連接到 2" 濺射頭

    磁控濺射頭

    • 包括一個帶有水冷套的2"磁控濺射頭,并通過快速夾具插入石英腔
    • 一個擋板安裝在法蘭上(手動操作)
    • 冷卻磁控濺射頭需要一臺16/分鐘的數控再循環冷水機組(不包括)

    濺射靶

    • 靶尺寸要求: 2" 直徑×1/4"厚度Max
    • 包括一個SiO2 靶用于演示測試

    真空室

    • 真空室:外徑160 mm×內徑150 mm×250 mm高度。由高純度石英制成
    • 密封法蘭:直徑165毫米。由鋁制成,帶有高溫硅膠O形圈
    • 包括不銹鋼網罩,用于100%屏蔽來自腔室的RF輻射
    • 真空度:1.0E-2托,配備雙級機械泵,1.0E-5托,帶可選渦輪泵

    樣品架

    • 樣品架可旋轉且可加熱,由帶有不銹鋼蓋的陶瓷加熱器制成。
    • 樣品架尺寸:50毫米直徑。zui大2英寸晶圓
    • 旋轉速度可調:1 - 10 rpm,均勻涂層
    • 通過數字溫度控制器,支架溫度可在RT500 Max范圍內調節,精度為+/- 1.0℃。

    真空泵站

    • 內置KF25真空端口,用于連接真空泵。
    • 需要一個帶KF25適配器的真空泵,但不包括。
    • 真空度:雙級機械泵1.0E-2托,渦輪泵1.0E-5托。

    整體尺寸

    650 mm L×650 mm W×1630 mm H             

    凈重

    70 kg

    售后服務

    貨物發出后,CYKY提供一年免費售后服務,服務方式限于電話指導、視頻指導、郵件指導、配件郵寄等遠程技術支持。如需要派人現場服務,客戶需要支付服務人員差旅費和出差期間的工資。

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