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  • 產品詳情
    • 產品名稱:緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀

    • 產品型號:CY-VTC-D
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀是一款臺式磁控等離子濺射鍍膜機,帶有2英寸靶頭,高度可調的樣品架。特別適用于涂覆SEM樣品的導電金膜。緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型等離子濺射鍍膜機,專為金屬涂層設計,如金、鉑金和白銀。包括一個2英寸金靶(4N)。
    詳情介紹:

    緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀應用領域:

    緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀設計主要是制作一些金屬薄膜,制膜面積可達到4英寸。設備外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設備使用。

    緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀技術規格:

    特點

    1.專為SEM樣品涂覆導電金膜而設計。

    2.緊湊型等離子濺射鍍膜機專為金屬涂層而設計,如金,鉑和銀。

    3.包括一個2“金(4N)目標。

    輸入電壓

    • 220 VAC 50/60Hz, 200W
    • < 1000 W (包括真空泵功率)
    • 使用1000 W變壓器(15 A保險絲)可獲得110VAC電源。

    輸出電壓

    500 VDC

    濺射電流

    • 0 - 50 mA (max)可調節的濺射電流
    • 數字電流表(mA)
    • 過流保護

    濺射時間

    1 -120秒可調

    樣本室

    石英玻璃管, 165 mm外徑×150 mm內徑×150 mm高

    樣品臺

    2"直徑,高度可調, 從樣品到靶30 - 80 mm

    濺射頭

    2"磁控濺射頭。一個手動操作的遮板用于保護靶

    真空壓力

    • 數字真空壓力表(Pa)
    • KF25真空泵連接器
    • 機械泵的極限真空壓力為1,泵不包括在內。

    輸入氣體

    • 安裝一個1/4世偉洛克型管接頭,用于連接惰性氣瓶。
    • 前面板上有一個計量閥,用于調節輸入氣體。

    靶材

    • 包括一個直徑50mm×0.12mm的金靶
    • 4N純度金箔: 50 mm(2英寸)直徑x 0.12 mm (包含并預裝在鍍膜儀上) 
    •  可選靶材

    金靶 (50 mm 直徑×0.12 mm, 4N 純度) 

    鉑金靶(50 mm直徑×0.12 mm, 4N純度)  

    銀靶(50 mm 直徑×0.5 mm, 4N 純度) 

    該型號適用于涂覆金,銀,鉑。并且由于能量低,不適合涂覆輕金屬材料,如Al、Mg、Zn或碳靶。請考慮我們的高功率直流/射頻磁控濺射涂布機或熱蒸發涂布機。  

    產品尺寸和重量

    L 460 mm×W 330 mm×H 520 mm

    20kg

    售后服務

    貨物發出后,CYKY提供一年免費售后服務,服務方式限于電話指導、視頻指導、郵件指導、配件郵寄等遠程技術支持。如需要派人現場服務,客戶需要支付服務人員差旅費和出差期間的工資

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