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  • 產品詳情
    • 產品名稱:二路質量流量計

    • 產品型號:CY-2Z
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    產品特點:1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏。
    詳情介紹:


    ○ 適用范圍
    1.半導體制造業
    2.真空鍍膜設備
    3.特殊材料表面處理
    4.燃氣控制
    5.泄漏檢測系統
    6.環境檢測分析設備
    7.化學,石化,冶金,光纖等


    ○ 產品特點
    1.選擇多種氣體方式
    2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕
    3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏


    ○ 技術參數

    功能

    兩路質量流量計

    質子流量控制器

    工作溫度:5~45 oC
    *大壓力: 3x106 Pa
    精度: ±1.5% FS
    重復精度: ±0.2%F.S.
    流量范圍:
    一路: 0~100 SCCM
    二路: 1~199 SCCM 
    注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

    輸入電源

    AC 220V/50Hz單相

    功率

    150W

    機械壓力表

    有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

    量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

    針閥

    316 不銹鋼

    通氣管道

    內部連接管道為1/4”不銹鋼管 

    外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

    混氣罐

    Φ80X120mm

    截止閥及配件

    316不銹鋼針閥 

    Φ1/4” 不銹鋼管

    外形尺寸

    600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

    質量認證

    CE認證

    質保期

    一年質保期,終身維護


    豫公網安備 41019702002438號

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