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  • 產品詳情
    • 產品名稱:凈化型勻膠機

    • 產品型號:CY-GKF411
    • 產品廠商:成越科儀
    • 產品文檔:
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    簡單介紹:
    凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此凈化型勻膠機進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。
    詳情介紹:


    凈化型勻膠機特點:

    1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止

       勻膠過程中的雜質污染。

    2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。

    3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝

    4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業學習

    5、采用無刷伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
    6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹,便于清洗。
    7、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
    8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出有效

         隔絕有毒氣味的散發。

    9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕,可電動升降前擋玻璃板。

    主要技術參數:

    勻膠時間:1-99秒 
    勻膠轉數:0-8000轉/分 
    凈化效果:100級(美國聯邦標準) 
    操作區風速:0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態:垂直層流() 
    適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
    外形尺寸:左右寬800mm;上下高1700mm;前后深680mm 
    殼體顏色:白色 
    控制范圍和精度:轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3% 
    時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5% 
    轉速調整采用PID調節,精度。 
    轉速查看智能化:可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上??捎柘冗x定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速。

    豫公網安備 41019702002438號

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